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光亮退火爐廣泛應(yīng)用于汽車、柴油機(jī)、航空、航天、空調(diào)制冷、燃?xì)鉄崴?、電子、微波磁控管等行業(yè)的不銹鋼、碳鋼、黃銅、紫銅、陶瓷等零件的釬焊和其它光亮熱處理。
光亮退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。加熱方式有電加熱、燃油、燃?xì)?、燃煤、熱風(fēng)循環(huán)。
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