箱式石英退火爐是一種在材料科學、半導體工程和陶瓷工藝中常用的設備，特別是在對石英、玻璃和晶體進行高溫熱處理時。"箱式"指的是爐子的結構，通常是一個有蓋的箱形空間，可以打開和關閉以便放入或取出樣品。石英退火爐通常使用電阻加熱元件來加熱爐內的空間。

退火是一種熱處理過程，通過加熱材料至一定溫度，保持這個溫度足夠時間后，再讓其緩慢冷卻，以此來減少材料內部的應力、改善它的微觀結構、提高化學均勻性、增強材料的機械性能和穩(wěn)定性。石英退火爐特別適合用于對石英玻璃和石英基材料的退火，因為它們在高溫下需要一定的氛圍控制(如氧化或還原氣氛)以防止材料變質。

箱式石英退火爐通常配備高精度溫度控制系統和程序控制，以確保熱處理過程連續(xù)且可重復。這對于需要高精度的溫度控制和均勻的熱分布，比如在半導體行業(yè)中，退火對改善晶體管和集成電路的特性至關重要。

此類爐子可以設計為在不同的氣氛下工作，如真空、惰性氣體、還原性或氧化性氣氛等，以適應各種不同的材料處理需求。高純度石英材料的使用則能承受高溫，并保證處理過程中的材料不被雜質污染。