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浙江佳輝爐業(yè)有限公司在永康安裝調(diào)試光亮爐退火爐順利完成
光亮退火爐是一種新型換熱設(shè)備。光亮退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計(jì)的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。加熱方式有電加熱、燃油、燃?xì)狻⑷济?、熱風(fēng)循環(huán)。
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